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電子半導(dǎo)體凈化車間工程

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電子凈化車間解決方案 / The solution

電子半導(dǎo)體凈化車間

凈化方案一 組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+送風(fēng)口這是一個(gè)較傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段,如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。
方案特點(diǎn): A.建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);
C.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。

凈化方案二 水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+送風(fēng)口與前種方案比較,這是相對比較簡單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積,水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房內(nèi)或凈化車間內(nèi),增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房內(nèi)或吊在機(jī)房內(nèi)或在夾層內(nèi)。
方案特點(diǎn): 這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng),具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。

凈化方案三 分體空調(diào)柜機(jī)+FFU送風(fēng)口 這是較簡易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi),并用彩鋼圍護(hù)起來,在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。
方案特點(diǎn): A、無塵車間的潔凈度:LCD制屏的簡略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
B、溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%。
C、新風(fēng)量大
D、送風(fēng)量大

等級說明及車間應(yīng)用 / application

電子半導(dǎo)體凈化車間

  • 01

    1級

    這個(gè)級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè),對集成電路的精確要求為亞微米

  • 02

    10級

    這個(gè)級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)

  • 03

    100級

    很多人認(rèn)為,這一級無塵車間是較常用因而是較重要的無塵車間,人們常常錯(cuò)誤地將100級潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環(huán)境要求,100級無塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應(yīng)用于,植如體內(nèi)物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對特別敏感的病人,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離

  • 04

    1000級

    這個(gè)級別的無塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等

  • 05

    10000級

    萬級無塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬級無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用

  • 06

    100000級

    十萬級無塵車間用于很多的工業(yè)部門,比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級無塵車間

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