電子半導體行業凈水設備反滲透一般自來水或地下水經一級反滲透水處理設備處理后，產水電導率<10μS/cm，經二級反滲透水處理設備后產水電導率 <5μS/cm甚至更低，在反滲透水處理設備系統后輔以離子交換設備或EDI設備可以制備超純水，使電阻率達到18兆歐姆(電導率=1/電阻率)是反滲透是用足夠的壓力使溶液中的溶劑(一般常指水）通過反滲透膜(一種半透膜)而分離出來與滲透方向相反，可使用大于滲透壓的反滲透法進行分離、提純和濃縮溶液。反滲透膜的主要分離對象是溶液中的離子范圍。

    電子半導體行業凈水設備原理EDI純水機主要是利用交換膜對離子的選擇性滲透。電極脫鹽(EDI)設備由陰極和陽極電極板、離子交換樹脂(一種用化學方法制備聚合物)、離子交換膜(負膜、正膜)等組成。在電極脫鹽(EDI)的電極之間，通常有多組負膜、正膜和隔板(A、B)交替排列，形成濃縮室和稀釋室。在直流電的作用下，稀釋室水中的陽離子向負極遷移并穿過正極膜，在濃縮室中被負極膜截留;水中的陰離子向正極遷移，在濃室中被正極膜截留，使水中通過淡室的離子數逐漸減少。成為淡水，而濃縮室中的水，由于濃縮室中陰陽離子的不斷涌入，介電離子的濃度不斷增加，成為濃縮水，從而達到脫鹽的目的，純化、濃縮或精制。 在一定電流作用下，水分子被電離成H和OH-離子，活性樹脂再生，實現連續制水和再生。